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FR-MetroPro™ 精密激光位移与轮廓测量仪

采用高速三角测距+蓝光共焦复合传感技术,实现±0.1μm重复精度、0.5nm分辨率及20kHz采样率,满足半导体封装焊点高度、医疗导管壁厚及光伏硅片翘曲度等纳米级精密制造过程管控需求。
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  • FR-MetroPro™ 精密激光位移与轮廓测量仪,专为半导体封装焊点高度、医疗导管壁厚及光伏硅片翘曲度等纳米级制造场景而生——以工业级可靠性,直面最严苛的精密过程管控挑战。